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第112章 接近式光刻机（第3页）

王浩然想了一下，说道：“张厂长要是相信我，我或者可以把这台光刻机给改进一下。”

“也许只需要一个很小的改进，它就能大幅度提升良品率了。”

王浩然这里嘴上说的只是个小的改进，其实吧，真要改动起来，是需要大动干戈的。

王浩然想要把接触式的光刻机改成接近式光刻机。

所谓接近式光刻机，掩膜版与晶圆之间并不真正接触，而是有了一个非常小的距离。

这个距离只有几个微米，这就可以使得掩膜版和硅片不会直接接触，进而降低了损坏的风险。

王浩然将自己的想法这么一说，张勇存还没说啥呢，刘中友和吴极都是大摇其头。

刘中友说：“浩然同志啊，那么小的距离，人工是没办法操作的。”

“除非设计一个精巧的机械装置。”

“但要设计这样一个机械装置，很难。”

吴极也说：“这个设想，咱们也有过，不过，因为无法实现，就最终放弃了。”

张勇存笑道：“吴工，刘工，你俩也别先忙着否定，好不好？”

“浩然同志既然都这么说了，那没准他就有办法解决。”

吴极抓了抓自己的头发，有点儿不好意思地说：“我忘了浩然同志比咱们聪明太多这茬儿。”

“浩然同志，你打算怎么改进，咱们给你打下手。”

王浩然说：“我先画个设计图，干脆的，咱们就在试验车间里重新搞一台全新的光刻机出来，怎么样？”

张勇存点头道：“没问题，咱们全力支持！”

“您这可是在帮咱们的忙啊！”

于是，接下来，王浩然就先把接近式光刻机的设计图给画了出来。

设计图好画，但有些技术却是不容易达到的。

王浩然要让这台光刻机拥有一定的自动化规范化的生产能力。

那就需要给它搞个中控电脑。

这样的话，王浩然就要先设计处理器芯片，再搞一款传感器芯片。

他还要编写一个简单的控制程序，让这个程序来自动驱动机器完成曝光这个工作。

至于设备的加工，也是需要他亲自参与，亲力亲为的。

就这么地，王浩然在742厂待了足足二十多天，这才总算是把一台接近式的光刻机给搞了出来。

这台光刻机其实就是先凑合一下。

它设计简单，制造也简单。

当然，它也只能曝光跟掩膜版同样大小的晶圆。

这样的光刻机，目前在国际上也是已经有点儿落伍了。

接近式的光刻机造出来之后，已经是到了1978年的4月底了。

试验车间里，742厂的骨干技术人员和高管几乎都在。

他们看着眼前这台已经跟目前厂内使用的主力曝光机外形迥异的机器，都有点儿兴致勃勃。

当然，他们还有点儿忐忑。

他们不知道这台机器到底怎样，会不会更加好用一些。

“浩然同志，现在，咱们可以尝试着生产你之前设计的那款处理器芯片了吧？”张勇存笑着说道。

王浩然点点头说道：“可以的！”

“咱们费了那么大的劲儿总算是搞出来一台新机器，现在，是骡子是马，要拉出来遛遛了。”

王浩然内心此刻倒是自信满满。