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第4章 大首長要见你（第2页）

尼康的镜片虽然不如蔡司，却也比国内镜片强。

听到这个问题，张主任脸上的喜悦顿时消失，只能无奈叹了口气：

“谈崩了！”

孙院士皱眉：“没有先进的光学镜片，duV光源只能挥5o%左右的曝光效果。

“相当于我们在工业级的芯片制程上，只能进步到42nm左右。”

“这个制程很尴尬啊，我的主任！说出去，我们脸往哪放？”

主任苦笑：“小日子的条件，我们无法答应。”

“什么条件？”

“帮助小日子搞核武器！”

“嗤，真把自己当香饽饽了？”

“我们技不如人，就只能被人当凯子！”

“算了，42nm就42nm吧。”

毫无疑问，这个消息给中心所有人心中蒙上了阴影。

之前激动喜悦的情绪顿时荡然无存。

两位大佬刚谈论到这里。

实验室外突然传来一阵脚步声，紧跟着，门就被打开了。

见到来人，孙院士顿时露出了不怀好意的笑容，

“老王，来的正好，分享你一个惊喜！”

王院士神情虽然有些疲倦，但还是强打起精神哈哈一笑，拿着陆凡邮件的光刻机复印件走了过来：

“巧了，我也有个惊喜想给你分享分享！”

“杯子拿稳了！”

孙院士暗暗摇头，心想，你们能有什么好消息？不会又是一些鸡毛碎皮的小突破吧？

心里虽然这么想，但表面上依旧一团和气道：

“我们俩谁先说？”

“你年纪大，你先吧！”王院士呵呵道。

孙院士不爽了，“你年纪小，你先说。”

“那好，我不客气了！”王院士笑眯眯的将复印件递了过去。

孙院士翻看着复印件，一开始还非常不屑一顾。

1nmx射线光刻机光源技术？

开什么玩笑！

x射线虽然波长比euV极紫外线更短，精度更高。

但不稳定性和不连续性却是个天大的麻烦。

有攻克这个难题的功夫，本国早就把光刻机的技术精度推到1onm了。

“拓子晶体激的量子限域高次谐波x射线扑光子晶体激的量子限域高次谐波x射线光源，基于量子点晶格与自聚焦等离子体通道的1nm波段相干光源！

“采用飞秒激光（脉宽5fs，峰值功率1op）轰击氖氪混合气体靶，诱导多体量子隧穿效应，产生高亮度宽谱x射线（o.5-2nm）。

“通过自旋轨道耦合调制，使等离子体形成周期性涡旋结构，提升高次谐波转化效率至~5x1o????（传统hhg的5o倍.......”

看着看着，孙院士脸上的不屑瞬间凝固，只感觉头皮麻，手上拿着的咖啡杯顿时落在地上，摔碎。

卧槽！

这是哪个妖孽设计的光源系统？

太精妙了！

有些地方简直让他茅塞顿开，灵感迸，差点就要当场来个‘龙场悟道’。

不过，自己的那些灵感与人家这份技术上的思路，还是差太远了。

看完后，孙院士有些意犹未尽，

“按照上面的流程和方案，完全可行，足以解决x射线光源的不稳定性和不持续性的毛病。”

“理论上，x射线的分辨率小于等于o.1nm，套刻精度小于等于o.3nm。工业级芯片量产精度至少o.4nm！”

“哪怕我国的物镜工艺再差劲，计算上光精度损耗，工业级芯片的精度可以实现1nm！完全不需要什么高精尖光学透镜。